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在半导体及液晶面板行业超纯水制程中，离子交换因其对TOC以及二氧化硅、硼等离子优秀的脱除能力而被广泛应用。

预过滤水从活性炭过滤器出来后，即被导入阳、阴离子交换器由阳离子交换器的顶部流向底部；此阳离子交换器内填装有强酸性阳树脂，包含钙、镁、钠、铵根等阳离子在此与氢离子（H+）进行置换。

从阳离子交换器出来的水通过脱气塔，去除二氧化碳，再流入阴离子交换器，阴离子交换器填装有弱碱性阴离子树脂（上层）与强碱性离子交换树脂（下层），亚硫酸根、硝酸根、氯离子、氟离子等阴离子在此从水中去除。