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对超纯水进行pH值的测量是保证超纯水设备产水是否符合生产要求的重要手段之一。所以，在edi超纯水设备系统的日常运行中要保证经常对产水进行pH值测量，并及时做好相关记录。

测量超纯水的pH值需要特殊的条件。由于性质比较特别，超纯水被称为世界上最强力的溶剂。

水的化学式一个氧原子加两个氢原子，无色无味。由于绝对的纯水能够溶解任何接触到的物质，因此它绝对的纯度是不可能保持的。由于超纯水没有任何缓冲能力（即在溶解其它物质的同时保持自己的pH值），因此最微小的污染也会改变它的pH值。

纯水是一种优良的绝缘体，因此在测量pH值的时候很难让pH计的测量电极和参比电极之间导通。这样在测量用的电极电路中产生极高的电阻，会使得测量的电信号噪声变大，电极的反应变慢，并产生静电双电层。这种静电双电层在纯水流经塑料管道时很常见。它产生的电场会使得测量得到的电阻比实际值大，这样测量得到的pH值数据是错误的。

测量超纯水的pH计需要用特殊的电极，它接一个金属的、接地的附件。通过接地，增大了整个电路的电容，从而降低了电信号噪声。同时由于接地分流了电荷，使得测量信号的稳定时间增大，也在某种程度上降低了静电双电层的强度。电极的附件还包括凝胶装填的参比电极或者流动的联结点，这可以在测量pH值得时候快速的在连接点两侧建立电位平衡。流过联结点的电解液偶尔会阻塞联结点。将整个测量电路放置在配件旁边，可以让代测样品的电荷释放掉，从而保持测量电极承受的压力稳定。这同样能够解决样品被KCl电解液污染的问题。

通过对上述描述的理解，我们发现：要保证超纯水pH值测量的准确性必须要保证以下两个条件：一是要保证测试的特殊条件能够得到满足，二是要使用特性电极的pH计，三是要经过三次以上的测量数据综合进行技术。通过这样的方式才可能在最大程度的保证超纯水pH值的准确性。